作者:标准资料网 时间:2024-05-19 15:04:53   浏览:8372   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Determinationofrelativesensitivityfactorsfromion-implantedreferencematerials
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
【标准号】:ISO18114-2003
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2003-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:含量测定;硼;次级离子质谱法;参考材料;精整;元件;光谱测定法;化学分析和试验
【英文主题词】:Boron;Chemicalanalysisandtesting;Determinationofcontent;Elements;Finishes;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Spectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesamethodofdeterminingrelativesensitivityfactors(RSFs)forsecondary-ionmassspectrometry(SIMS)fromion-implantedreferencematerials.Themethodisapplicabletospecimensinwhichthematrixisofuniformchemicalcomposition,andinwhichthepeakconcentrationoftheimplantedspeciesdoesnotexceedoneatomicpercent.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:4P.;A4
【正文语种】:英语